姓名:赵嘉昊
职称:助理研究员
联系电话:+86-10-6277-6000x8007
E-mail地址:falxon@mail.tsinghua.edu.cn
通信地址:北京市海淀区清华大学精仪系9003大楼
办公地点:9003大楼2208室
教育背景2000.09-2006.07,地面清洗13825404095清华大学材料科学与工程系,材料科学与工程专业,获工学博士学位,学位论文《应用纳米磁性颗粒膜的硅基射频集成电感器件的研究》
1996.09-2000.07,清华大学材料科学与工程系,材料科学与工程专业,获工学学士学位,学位论文《近场光学信息记录薄膜的制备和研究》
工作履历2010.06至今,清华大学精密仪器与机械学系,助理研究员,
2007.05-2010.05,清华大学精密仪器与机械学系,博士后,
2006.07-2007.04,国家纳米技术与工程研究院,微纳加工技术实验室主任
研究领域纳米材料,微/纳制造,RF-MEMS,硅基无源集成技术,基于MEMS技术和新材料的微能源技术,新型MEMS气体传感器技术
研究概况作为骨干参与承担的部分国家级科研项目:
1.国家高技术研究发展计划(863)项目“面向安全监测与跟踪的网络化微系统”
2.国家重点实验室自主研究课题“用于生化检测的MEMS微系统技术”
3.国家自然科学基金“多层次结构之间的相互作用与耦合及其对材料性能的影响(50172024)”
4.国家重点基础研究发展计划(973)项目“纳米尺度下材料性能(原位/外场下)的表征及科学问题的研究2002CB613505”
作为负责人主持的部分国家级科研项目:
1.中国博士后科学基金,一等资助项目“新型矿井安全监测及预警用MEMS瓦斯气体传感器”
2.中国博士后科学基金,特等资助项目“基于CMOS兼容的新型纳米制备技术的硅基射频集成无源器件技术的研究”
目前在研的部分科研课题:
1.清华大学“骨干人才”支持计划项目
2.MEMS相关项目
学术成果撰写并发表研究论文20余篇,其中被SCI收录11篇(在WebofScience中被引用40次,其中他引32次),被EI收录15篇,被CPCI-S(ISTP)收录3篇;获得中国发明专利6项。
近期部分论文和专利:
[1]LiuGuan,JiahaoZhao,ShijieYu,PengLiandZhengYou,“InvestigationoftheFrequencyShiftofaSADCircuitLoopandtheInternalMicro-CantileverinaGasSensor”,SENSORS,2010,10:7044-7056
[2]PengLi,JiahaoZhao,ShijieYu,LiuGuanandZhengYou,“ResonatingFrequencyofaSADCircuitLoopandInnerMicrocantileverinaGasSensor”,IEEESENSORSJOURNAL,2010,10(2):316-320
[3]ZhaoJiaHao,YuShiJie,LiKe,DongYing,ZhouQin,YouZheng,“ImprovementofaMicro-BeaminaSmartGasSensorwithResonatingMechanism”,Proceedingof4thIEEEInternationalConferenceonNano/MicroEngineeredandMolecularSystems2009:371-375ZhaoJ.H.,YuS.J.,LiK.,ZhouQ.andYouZ.,“Asmartresonatingmicro-cantileverinMEMSgassensor:improveddesign”,ProceedingofSPIE2008,Vol.7268:72680T-1
[4]ZhaoJH,ZhuJ,ZhongXY,OuDR,ZhouHH,“Anovelfabricationandpropertiesinvestigationofpermalloy-SiO2granularfilmswithinducedanisotropy”,MATERIALSLETTERS,61(2):491-495
[5]ZhaoJH,ZhuJ,ChenZM,LiuZW,“Radio-frequencyplanarintegratedinductorwithpermalloy-SiO2granularfilms”,IEEETRANSACTIONSONMAGNETICS,41(8):2334-2338
[6]Ou,DR;Zhu,J;Zhao,JH;Approachforimagingopticalsuper-resolutionbasedonSbfilms,APPLIEDPHYSICSLETTERS,82(10):1521-1523
[7]尤政,赵嘉昊,周勤,李珂,董瑛,于世洁,毕研刚,一种谐振式微悬臂梁自激振荡自检测传感器,中国,发明专利,ZL200710119269.1
[8]赵嘉昊,朱静,一种硅基CMOS射频集成电路衬底及其制造方法,中国,发明专利,ZL200510086987.4
[9]赵嘉昊,朱静,区定容,周惠华,一种具有可控磁各向异性的磁性颗粒薄膜及其制备方法,中国,发明专利,ZL200410009791.0